是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

整机及控制模块：
1.1 PLC控制，触摸屏显示，操作简单友好；自由修改、编辑、存储、转移及调用工艺配方
1.2 FFU净化
1.3 设备运行峰值噪音<70分贝
1.4 外形尺寸小于1000(L)×1000(W)×2000mm(H)
1.5 电压220V，功率<4kW

湿法清洗模块：
2.1 兆声波频率≥1MHz
2.2 兆声喷头角度可调
2.3 内胆防腐材质，适应各种酸碱及有机溶剂
2.4 清洗时间可调
2.5 漏液防护/监测

晶圆旋转模块：
3.1 适用晶圆尺寸4-12inch
3.2 转速可调

干燥模块：
4.1 氮气吹干

质保期

1.质保期：设备保修期为一年
2.为保证售后服务质量，设备必须提供制造厂家授权文件和售后服务承诺
3.所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件）

售后要求

必要时需提供现场技术咨询； 技术人员现场培训； 半年1次的免费仪器保养； 保内维修需做到: 软件免费重装，硬件维修。